期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]四川工业学院物理实验室,成都611744 [2]复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433
基 金:国家自然科学基金;"863"高技术计划青年基金资助的课题
年 份:1996
卷 号:45
期 号:7
起止页码:1232-1238
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要:报道对多孔硅在NH_3气中进行快速热处理的结果。红外吸收谱表明,经处理样品的表面由Si(NH)_2和Si_3N_4所覆盖,电子自旋共振谱指出,经处理的样品有相当低的悬挂键密度,光荧光谱表明,经适当条件处理的样品的发光强度与未作处理样品相比仅略有降低,而且在大气中存放三个月基本不变,这些结果表明,氮化物可以在多孔硅表面形成优良的钝化膜,这对多孔硅的实际应用及理论研究都有一定意义。
关 键 词:发光 多孔硅 表面 氮钝化
分 类 号:TN204]
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...