期刊文章详细信息
硅n^＋p结中金的两个深能级及相对浓度分布的测量 ( EI收录)
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安交通大学理学院实验物理中心,北京大学物理系
年 份：1996
卷 号：25
期 号：7
起止页码：614-617
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ）方法对ｐ型单晶硅中ｎ＋ｐ结掺金形成的两个深能级进行了实验研究，并对ＤＬＴＳ方法中传统计算深中心浓度分布的公式进行了改进，给出了深能级及相对浓度分布更为准确的测量结果。
关 键 词：n^+p结 深能级 掺金 深能级 掺杂浓度
分 类 号：O475]
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