期刊文章详细信息
等离子清洗的应用与技术研究
The Application and Technology Research of Plasma Cleaning
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏长电科技股份有限公司,江苏江阴214431
年 份：2006
卷 号：35
期 号：6
起止页码：21-27
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：对等离子清洗技术在半导体方面的应用做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子技术的基本概念、设备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在半导体清洗中的应用及其注意事项。
关 键 词：等离子体 清洗技术 半导体 研究
分 类 号：TN305.97]
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