期刊文章详细信息
CFD技术在洁净室气流组织设计中的应用
Application of CFD in Airflow Design for Cleanroom
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏大学能源与动力工程学院 [2]苏州大学热能与动力工程系 [3]苏净集团苏州净化空调系统设备安装有限公司
年 份：2006
期 号：2
起止页码：7-11
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文运用CFD技术作为辅助工具对一ISO5级洁净室内的气流组织进行设计。我们采用CFD技术对光刻胶研发实验室内的气流组织和微尘污染进行了研究。研究中采用了k-ε模型,并用FLUENT软件进行求解。对多种洁净室的气流组织方案进行了数值模拟,并选择优化方案建造了实验室,对此实验室测试了多组数据并与数值模拟的结果进行比较,表明数值模拟的结果是准确的。说明了CFD技术是洁净室设计的可靠辅助工具。
关 键 词：洁净室 气流组织 CFD 湍流模型
分 类 号：TU831]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
