期刊文章详细信息
圆光栅刻划误差的自动校正
Automatic correction for dividing errors of radial grating
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华东工业大学仪器仪表学院
年 份：1996
卷 号：18
期 号：3
起止页码：85-90
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：指出了提高圆光栅刻划精度的途径，并给出刻划误差自动校正的方法．通过对误差源的分析，找出主要误差的变化规律并导出其数学表达式，利用微机控制的专门装置，使光栅在刻划时转动一个附加角度。
关 键 词：圆光栅 刻划精度 误差校正装置 光学仪器
分 类 号：TH741.23]
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