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期刊文章详细信息

非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究  ( EI收录)  

Study of Structural and Tribological Properties of MoS_2-Ti Composite Coatings Deposited by Unbalanced Magnetron Sputter

  

文献类型:期刊文章

作  者:周晖[1] 温庆平[2] 郝宏[2] 谭立[2] 王长胜[2] 薛德胜[1]

机构地区:[1]兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室,甘肃兰州730000 [2]兰州物理研究所空间机械润滑中心,甘肃兰州730000

出  处:《摩擦学学报》

基  金:航天支撑技术项目资助(417010802)

年  份:2006

卷  号:26

期  号:2

起止页码:183-187

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2006249940743)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能.

关 键 词:非平衡磁控溅射 MoS2-Ti复合薄膜  结构  摩擦磨损性能

分 类 号:TH117.3]

参考文献:

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同被引文献:

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