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非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究 ( EI收录)
Study of Structural and Tribological Properties of MoS_2-Ti Composite Coatings Deposited by Unbalanced Magnetron Sputter
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室,甘肃兰州730000 [2]兰州物理研究所空间机械润滑中心,甘肃兰州730000
基 金:航天支撑技术项目资助(417010802)
年 份:2006
卷 号:26
期 号:2
起止页码:183-187
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2006249940743)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能.
关 键 词:非平衡磁控溅射 MoS2-Ti复合薄膜 结构 摩擦磨损性能
分 类 号:TH117.3]
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