文献类型：期刊文章

作　　者：沟引宁[1] 孙鸿[1] 黄楠[1] 张文英[1] 冷永祥[1]

机构地区：[1]西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川成都610031

出　　处：《摩擦学学报》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(30270392);四川省科技攻关项目资助(05GG1084)

年　　份：2006

卷　　号：26

期　　号：2

起止页码：121-124

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2006249940738)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在S i基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜表面光滑、致密,厚度达0.7μm,硬度高达68 GPa,与S iC球对摩时的摩擦系数为0.10左右,耐磨性明显优于单层DLC膜和TiN膜.

关 键 词：磁过滤阴极真空弧源  C/C多层DLC膜  摩擦磨损性能

分 类 号：O484] TH117.3[物理学类]