文献类型：期刊文章

作　　者：纪新明[1] 王建业[1] 贾文红[1] 朱节清[1] 黄宜平[1]

机构地区：[1]上海复旦大学微电子系,上海200433

出　　处：《光学学报》

年　　份：2006

卷　　号：26

期　　号：4

起止页码：634-638

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2006249940748)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：确切知道X射线管激发的原级能谱分布是X射线荧光分析中的一个重要前提,所用能谱分布函数的准确度大大影响了最终的测量结果。提出利用间接测量法,选用合适的参量模型来描述X射线的原级能谱分布。依靠实验测得的厚靶纯元素样品的荧光强度,利用已知的理论公式,建立非线性方程,优化得到参量模型中的参量值。通过比较实验测得的元素的荧光强度值和利用得到的能谱分布函数计算的理论值,证明此种方法是可行的。

关 键 词：X射线光学 X射线荧光分析 质量吸收系数  荧光强度 最小二乘方优化方法  

分 类 号：O434.1]