期刊文章详细信息
三维微电子机械系统结构分析与设计
Analysis and Design of the Architecture in 3D MEMS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京邮电大学光信息技术系,南京210003
年 份：2006
期 号：1
起止页码：27-30
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了作为光交叉连接设备(OXC)的三维微电子机械系统(MEMS)总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理,然后着重讨论了基于三维MEMS的物理结构参数设计和驱动电压参数设计。
关 键 词：MEMS OXC 驱动电压 偏转角度
分 类 号：TN929.11]
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