期刊文章详细信息
生产IGBT的一种工艺──三重扩散
A Technology for Making IGBT-Triple-diffusion
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学功率器件研究所
年 份：1996
卷 号：16
期 号：1
起止页码：75-79
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：根据目前国内半导体工艺水平的现状，提出了一种制作ＩＧＢＴ的工艺方法──三重扩散法，并着重用器件模拟的方法，从理论上分析和证实了三重扩散法在高压ＩＧＢＴ器件制作上的优点和可行性，并用实验结果验证其正确性。
关 键 词：IGBT 三重扩散 器件模拟 绝缘栅 双极晶体管
分 类 号：TN305.4] TN322.8
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