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粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏传感器 ( EI收录)
Powder Sputtering Plane Thin-Film SnO_2/CeO_2 Alcohol Sensor
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东工业大学数理系,济南大学机电系
年 份：1996
卷 号：24
期 号：5
起止页码：114-116
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍粉末溅射研制的ＳｎＯ２／ＣｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、温度和掺杂量等关系的研究结果，并根据此结果对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行的设计；介绍所研制器件的一些性能，并对有关问题进行讨论。
关 键 词：粉末溅射 薄膜 传感器 酒敏 二氧化锡 二氧化铈
分 类 号：TN304.21] TN305.92
参考文献：
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