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MEMS光声气体传感器光声腔的研究
Study on PA cells for MEMS PA gas sensors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]复旦大学微电子系ASIC和系统国家重点实验室,上海200433
年 份：2006
卷 号：25
期 号：2
起止页码：86-88
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础。
关 键 词：光声气体传感器 微机电技术 光声腔
分 类 号：TP212.14]
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