期刊文章详细信息
现代X光电子能谱(XPS)分析技术
Progress of new techniques in modern X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京师范大学分析测试中心,北京100875
年 份：2006
卷 号：12
期 号：1
起止页码：50-53
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：现代电子能谱仪有3个主要功能:单色XPS(Mono XPS)、小面积XPS(SAXPS)和成像XPS(iXPS),被认为是光电子能谱仪发展方向。本文介绍这3个功能突出的特点及在材料微分析方面的实际应用。
关 键 词：单色XPS 小面积XPS 成像XPS 显微分析
分 类 号：TH838.3[仪器类] O734.3]
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