文献类型：期刊文章

作　　者：田延岭[1] 张大卫[1] 闫兵[2]

机构地区：[1]天津大学机械工程学院,天津300072 [2]天津工程师范学院机械工程系,天津300222

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金(No.50275104);天津市自然科学基金项目(No.013605311)

年　　份：2006

卷　　号：14

期　　号：1

起止页码：94-99

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2006229912302)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台,该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨率等优点。为了克服压电陶瓷驱动器伸长量较小的不足,采用杠杆放大机构增加微定位平台的位移输出。考虑驱动电路的影响,建立了微定位平台的机电耦合模型。通过试验研究了微定位平台的静动态特性,试验结果表明微定位平台的分辨率为5 nm,固有频率分别为143 Hz和180 Hz。该微定位平台可应用于纳米级的微定位。

关 键 词：微定位平台  压电陶瓷驱动器 动态性能

分 类 号：TH703[仪器类]