文献类型：期刊文章

作　　者：张燕君[1] 陈才和[1] 吴波[1] 崔宇明[1] 马广鹏[1]

机构地区：[1]天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(40274047)

年　　份：2006

卷　　号：14

期　　号：1

起止页码：77-82

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2006229912299)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器。对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计,采用K9玻璃作为基底层和包层材料,Bak7玻璃作为波导层材料,波导的宽度为4μm,厚度为0.4μm。M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲,为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构,应用波导转向镜实现了大角度光路转折,反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现,并利用BPM进行了仿真。为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化,加了4个长度为1 mm的TE模偏振器以保持其偏振态。实验结果与理论相符。

关 键 词：加速度计 M-Z干涉仪 光波导  结构设计  

分 类 号：TH744.3]