期刊文章详细信息
几种常见气体传感器的研究进展
The Development Of Several Normal Gas Sensors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]厦门大学机电工程系
年 份：2006
卷 号：12
期 号：1
起止页码：6-11
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和可燃性气体(氢气、甲烷)的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍,同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。
关 键 词：敏感材料 气体传感器 有毒气体 可燃性气体 MEMS技术
分 类 号：TP212]
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