文献类型：期刊文章

作　　者：姚李英[1] 张瑜[1] 陈涛[1] 王升启[2] 左铁钏[1]

机构地区：[1]北京工业大学激光工程研究院,北京100022 [2]军事医学科学院放射医学研究所全军生物芯片重点实验室,北京100057

出　　处：《激光杂志》

基　　金：国家自然科学基金项目(50175002);北京市自然基金项目(3031001)

年　　份：2006

卷　　号：27

期　　号：1

起止页码：75-77

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MEMS技术的发展,使得PCR微流控芯片的制备成为了现实。本文采用波长248nm的准分子激光作为一种新型的微加工方法,在19KV电压和18mm/min的激光优化加工参数下,在40mm×63mm的PMMA基片上制备出了20个循环的PCR微流控芯片。芯片上微通道的宽为104μm,深为56μm,长为1040mm,芯片加工耗时57分钟。随后采用自己搭建的热压装置,定量讨论了热压键合的温度、压力和时间对芯片键合质量的影响,得出了PMMA基微流控芯片热压键合的最佳参数:95℃,160N,20min。并在该条件下成功地将PMMA基的20个循环的PCR微流控芯片和相同尺寸的盖片键合在一起,键合后的芯片具有良好的密封性,能够承受的最大压强为0.85Mpa,能满足进行PCR反应的要求。

关 键 词：准分子激光 高聚物 热压键合 PCR技术

分 类 号：TN249]