文献类型：期刊文章

作　　者：林宇[1] 段成丽[2] 朴林华[1] 张福学[1]

机构地区：[1]北京信息工程学院传感技术研究中心,北京100101 [2]科技信息研究中心,北京100036

出　　处：《压电与声光》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60272001);北京市自然科学基金项目(43032010);北京市重点实验室开放课题资助(603037)

年　　份：2006

卷　　号：28

期　　号：1

起止页码：33-35

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CSA、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：介绍了气体摆式两维倾角传感器的敏感原理即气体摆倾角敏感原理,并对两维倾角传感器的敏感元件结构设计方案进行了分析。分析了气体摆式两维倾角传感器的基本原理,在此基础上,研究了克服影响传感器性能的环境因素的方法,给出了一个详细和优化的解决方案。最后通过对实际制作的两维倾角传感器进行的测试表明,该文介绍的气体摆式两维倾角传感器的非线性度可小于0.2%,分辨率小于0.03°,工作温度得到扩展。

关 键 词：两维  气体摆  倾角传感器

分 类 号：TP212]