期刊文章详细信息
基于鼓-缓冲器-绳子理论的半导体晶圆厂车间层控制 ( EI收录)
Shop floor control in wafer fabrication based on drum-buffer-rope theory
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]上海理工大学微电子发展研究中心,上海200093
年 份:2006
卷 号:12
期 号:1
起止页码:111-116
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:为了将鼓-缓冲器-绳子理论应用于带回流的半导体晶圆厂车间的作业控制,通过设置回流缓冲,对传统鼓-缓冲器-绳子理论进行了修正,提出了一套适合带回流生产线的生产作业方法。针对瓶颈资源上的负荷堆积情况,提出了基于EDD和CR法则的推平原则,将瓶颈负荷推平。负荷推平后,根据瓶颈设备的实际可用情况,对瓶颈设备上的生产安排进行合理化,得到各订单的投料时间及出货时间安排。算例结果证明了该方法的可行性和有效性。
关 键 词:鼓-缓冲器-绳子理论 晶圆制造 回流 缓冲设置 生产控制
分 类 号:TP278]
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