期刊文章详细信息
敢问中国电子气体路在何方
Where Is The Way to The Electronic Gases in China
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]光明化工研究设计院,辽宁大连116031
年 份：2005
卷 号：23
期 号：6
起止页码：1-3
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊
摘 要：对中国电子气体的历史进行了回顾,通过对某些具有代表性的电子气体的描述,可以清晰地看到我国电子气体同发达国家的差距。对中国电子气体未来的发展走向进行了剖析。
关 键 词：电子气体 VLSI ULSI
分 类 号：F426.7]
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