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Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3成分梯度铁电薄膜的结构及性能 ( EI收录)
STRUCTURE AND PROPERTIES OF COMPOSITIONALLY GRADED Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3 FERROELECTRIC THIN FILMS
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]苏州科技学院应用物理系,苏州215011 [2]西安交通大学电子材料研究所,西安710049
基 金:国家重点基础研究发展计划(2002CB613304);江苏省自然科学基金(BK2005039)
年 份:2005
卷 号:22
期 号:6
起止页码:49-53
语 种:中文
收录情况:AJ、AMR、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2006049663969)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜。用俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,证实其成分梯度的存在。XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变。介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象。不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出良好的铁电性质。热释电性能测试表明,梯度薄膜的热释电系数随着温度的升高逐渐增加,并且其热释电系数比每个单元的热释电系数大。
关 键 词:成分梯度薄膜 锆钛酸铅 介电温谱 热释电系数
分 类 号:TM221[材料类] TB332]
参考文献:
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