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期刊文章详细信息

计量圆光栅动态精度的检测技术  ( EI收录)  

Dynamic Measurement Technology of Grating′s Precision

  

文献类型:期刊文章

作  者:费斌[1,2] 徐文雄[1,2] 蒋庄德[1,2] 范裕健[1,2]

机构地区:[1]西安交通大学 [2]Eindhoven技术大学

出  处:《仪器仪表学报》

年  份:1996

卷  号:17

期  号:5

起止页码:525-529

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:1997123976245)、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题,提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法,后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差,而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理,实现对圆光栅动态地、连续测量,最终得到其误差函数R(θ)。本方法采用软件修正技术剔除安装偏心等系统误差,硬件系统使用了高精度的脉冲计数电路,使得检测系统的精度大为提高,并且排除了测量过程中,环境或人为因素对检测精度的影响。本文对这种光栅动态检测技术的原理及应用进行了研究。

关 键 词:圆光栅 精度  检测  测角度仪器  计量圆光栅  

分 类 号:TH741.2]

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同被引文献:

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