期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]无锡微电子科研中心IC工艺实验室,江苏无锡214035
年 份:2005
卷 号:35
期 号:6
起止页码:597-599
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要:介绍了部分耗尽SOIMOSFET中的浮体效应;简要描述了浮体效应的物理机制、测试结果,以及减小浮体效应的方法;同时,给出了在有体接触的情况下出现kink效应的测试结果。
关 键 词:SOI MOSFET 浮体效应 KINK效应
分 类 号:TN386.1]
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