期刊文章详细信息
智能化压力传感器的研制
Frabrication of Intelligence Pressure Sensors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北工业大学电子系
年 份：1996
卷 号：21
期 号：3
起止页码：21-29
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文主要介绍智能化硅压力传感器的微机检测、运算处理和控制。由平面工艺制成的硅压阻传感器，当其把压力信号转换为电信号后，经模拟通道的予处理，再由微机对检测的信号进行压力零点及灵敏度的温度补偿以及对压力非线性特性进行校正，最后对测量结果进行标度变换并显示。使传感器测量精度大大提高并具有程控、运算处理等功能。从而，可长期稳定地工作在环境温度变化较为频繁的场合。
关 键 词：硅压阻 传感器 压力零点 压力灵敏度 温度补偿
分 类 号：TP212]
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