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期刊文章详细信息

一种新型低压功率MOSFET结构分析    

Analysis for a New Low-Voltage Power MOSFET Structure

  

文献类型:期刊文章

作  者:姚丰[1] 何杞鑫[1] 方邵华[1]

机构地区:[1]浙江大学信息与电子工程系微电子技术与系统设计研究所,杭州310027

出  处:《半导体技术》

基  金:宁波市工业科研攻关计划项目(2004B100017)

年  份:2005

卷  号:30

期  号:11

起止页码:53-56

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘  要:介绍了一种新型的低压功率MOSFET结构——Trench MOSFET。将其与常规VDMOS通过在 结构参数、电性能参数上的比较和分析,最终肯定了Trench MOSFET结构的优点。

关 键 词:垂直双扩散型金属氧化物半导体  沟槽金属氧化物半导体场效应晶体管  器件仿真  导通电阻

分 类 号:TN386.1]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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