文献类型：期刊文章

作　　者：李艳丽[1] 刘景旺[2] 张荣梅[3] 王英龙[1]

机构地区：[1]河北大学物理科学与技术学院,河北保定071002 [2]北华航天工业学院基础部,河北廊坊065000 [3]保定师范专科学校物理系,河北保定071000

出　　处：《河北大学学报（自然科学版）》

基　　金：河北省自然科学基金资助项目(E2005000129500084)

年　　份：2005

卷　　号：25

期　　号：5

起止页码：478-481

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、MR、RCCSE、RSC、WOS、ZGKJHX、ZR、核心刊

摘　　要：在不同环境气体中,对脉冲激光烧蚀产生的Si粒子的输运过程进行了Monte Carlo动力学模拟,并实验研究了脉冲激光烧蚀制备纳米Si薄膜的晶粒尺寸分布.在理论分析和实验研究的基础上,讨论了纳米Si晶粒尺寸分布和烧蚀过程中出现的交叠区振荡稳定时间的对应关系.结果表明,Si蒸气/环境气体高密度交叠区振荡稳定时间越短,所制备的纳米Si晶粒尺寸分布越均匀.

关 键 词：脉冲激光烧蚀 动力学 纳米SI晶粒 尺寸分布  

分 类 号：O78]