文献类型：期刊文章

作　　者：陈宁[1] 张清华[1] 许乔[1] 王世健[1] 段利华[2]

机构地区：[1]成都精密光学工程研究中心,四川成都610041 [2]重庆大学数理学院物理系,重庆400044

出　　处：《强激光与粒子束》

基　　金：中国工程物理研究院科学技术基金面上资助课题(20030216)

年　　份：2005

卷　　号：17

期　　号：9

起止页码：1289-1293

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2005499528088)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究了几种类型的腐蚀液对K9基片化学腐蚀的影响。通过腐蚀液对基片纵向腐蚀速度的变化初步判断了K9基片重沉积层的深度。考察了腐蚀前后基片表面参数的变化以及腐蚀对激光损伤阈值的影响。研究表明,特定的腐蚀液能够对K9基片进行平稳可控的腐蚀,并且腐蚀能提高其激光损伤阈值,其主要原因是去除了重沉积层及表面、亚表面缺陷中的污染物,但过多的腐蚀会暴露本来为重沉积层所掩盖的划痕等亚表面缺陷,所以腐蚀并非越深越好。同时,表面各种杂质与缺陷的去除能够提高材料的机械强度,从而也有利于提高材料的激光损伤阈值。

关 键 词：化学腐蚀 亚表面缺陷  激光损伤阈值 重沉积层  

分 类 号：TN244]