期刊文章详细信息
超短激光脉冲烧蚀铜材料的数值模拟 ( EI收录)
Numerical Simulation of the Ablation on Copper with Ultrashort Laser Pulses
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室
基 金:教育部科学技术研究重大项目(10410);天津市科技发展计划科技攻关培育项目(G043103911);中国博士后科学基金资助课题
年 份:2005
卷 号:32
期 号:9
起止页码:1291-1294
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2005429424981)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:使用约化后的双温方程(DTE)对超短激光脉冲烧蚀铜薄层的过程进行了数值模拟;基于超短激光脉冲烧蚀过程中电子与晶格的温度不平衡性,分别模拟了这两个系统的温升过程,并由此得到了单脉冲烧蚀深度;通过变化激光能流,研究了脉冲能量对烧蚀深度的影响。模拟结果表明,随着激光能流的增加,相变爆炸引起的喷射出现得越深,同时材料烧蚀深度越大;理论计算与实验结果相吻合。
关 键 词:激光技术 超快激光技术 有限差分 双温方程 烧蚀深度
分 类 号:TG156.99]
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