文献类型：期刊文章

作　　者：徐平[1] 张晓春[1] 郭履容[1] 郭永康[1] 周祥[1] 杜春雷[2] 周明宝[2]

机构地区：[1]四川大学信息光学研究所,成都610064 [2]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209

出　　处：《光学学报》

基　　金：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室资助;国家自然科学基金;国家教委博士点基金

年　　份：1996

卷　　号：16

期　　号：6

起止页码：833-838

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX1992、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：1996463342554)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：从标量衍射理论出发，首先从理论上计算出多台阶二元光学元件发生深度误差时衍射效率的解析式；然后以4台阶和8台阶闪耀光栅为例，对二元光学元件套刻制作中的主要误差及其这些误差之间的相互影响进行了系统的分析和计算机模拟研究，模拟结果给实际制作提供了重要理论指导和实验参数。

关 键 词：二元  光学元件 误差分析 闪耀光栅

分 类 号：TH74]