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激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究 ( EI收录)
Microlens Array Fabrication by Using Laser Direct Lithography System
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 [2]四川大学信息光学研究所
年 份：1996
卷 号：16
期 号：8
起止页码：1194-1196
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1992、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：1997083425087)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍了利用激光直接光刻技术制作８相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器中得到了应用。
关 键 词：激光 直接 光刻 微透镜列阵 衍射光学元件
分 类 号：TN305.7]
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