文献类型：期刊文章

作　　者：白力静[1,2] 蒋百灵[3] 文晓斌[3] 张国君[3] 何家文[1]

机构地区：[1]西安交通大学材料学院 [2]西安理工大学材料学院,陕西西安710048 [3]西安理工大学材料学院

出　　处：《材料热处理学报》

基　　金：西安理工大学校研究基金项目(210103);中青年科技创新计划(210403)

年　　份：2005

卷　　号：26

期　　号：4

起止页码：111-114

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用SEM和XRD法,分析了磁控溅射CrTiAliN梯度镀层的表面与断口形貌及其相组成随加热温度的变化规律。研究表明:CrTiAliN镀层在600℃之前物相和组织结构保持稳定,随后的升温过程中有相变行为,随着温度的升高,物相由以致密的非晶态物质为主,依次出现CrN、Cr2O3相和AlN等物相;相变的发生有利于镀层保持高温硬度和结合力。加热至900℃时,尽管在镀层表面观察到微区融化现象,但膜基结合紧密;加热至1100℃时镀层表面出现开裂并伴有剥落现象。从温度对镀层的氧化形貌及物相、组织转变机理分析,CrTiAlN梯度镀层在≤900℃时有良好的热稳定性。

关 键 词：氧化  磁控溅射 梯度镀层  

分 类 号：TG174.44]