文献类型：期刊文章

作　　者：陈勇[1]

机构地区：[1]广西机电职工大学,530007

出　　处：《机械制造》

年　　份：1996

卷　　号：34

期　　号：1

起止页码：27-27

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1992、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：TiN膜层和TiC膜层具有高的硬度、低的摩擦系数和良好的化学稳定性。应用离子镀方法在工模具表面沉积一薄层超硬TiN膜层或TiC膜层,可显著提高工模具的使用寿命,因此,离子镀层在工模具上的应用将越来越广。 1.离子镀工艺过程 离子镀是真空蒸镀与气体放电相结合的一种沉积技术。离子镀的方法有Mattocks法、RF法、ARE法和HCD法,在工模具制造中广泛应用的是HCD法,即空心阴极放电法,先用真空泵抽真空,并向真空室通入反应气体,使真空度保持在10^(-3)～10^(-2)Pa范围内,利用低压大电流的HCD电子枪使蒸发的金属或化合物离子化,并在工件表面堆积成一层保护膜。为提高效率,在工件上加以负电压。

关 键 词：离子镀 氮化钛 碳化钛 模具  

分 类 号：TG174.442] TG760.6]