期刊文章详细信息
同步辐射真空紫外球面闪耀光栅研究
Fabrication of Vacuum Ultraviolet Blazed Grating for Synchrotron Radiation
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]合肥国家同步辐射实验室
基 金：科大首届青年基金
年 份：1995
卷 号：25
期 号：3
起止页码：298-301
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1992、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、INSPEC、JST、MR、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要：采用全息－离子束刻蚀微细加工技术在石英基板上成功地刻蚀出了１２００线／ｍｍ、闪耀角５°１０’的锯齿槽形闪耀光栅．对全息光刻、显影等掩模制作工艺和离子束刻蚀参数的控制等进行了讨论，还给出了在同步辐射光化学光束线上的测试结果．
关 键 词：同步辐射 闪耀光栅 刻蚀 光刻胶 掩模
分 类 号：TN305.7]
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