期刊文章详细信息
液晶显示器用ITO透明导电膜技术现状
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]广州三盛电子实业有限公司
年 份：1995
卷 号：15
期 号：2
起止页码：135-139
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、SCOPUS、普通刊
摘 要：随着液晶显示器件（LCD）产业的飞速发展，对作为平板显示器透明电极的ITO导电玻璃的需求也日益增长，并由于LCD正向大型化和高精细化发展，因而对ITO膜的特性提出了许多新的更为严格的要求。本文综述性介绍透明导电膜制造中最常用的ITO膜磁控溅射成膜技术和设备以及靶的现状。
关 键 词：透明导电玻璃 液晶显示器 磁控溅射
分 类 号：TN104.3] TQ171.736]
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