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双焦干涉球面微观轮廓仪 ( EI收录)
The Double Focus Interference Spherical Profiler
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学光科系
年 份：1995
卷 号：16
期 号：3
起止页码：254-259
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统；五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面（如光学透镜，球面反射镜及滚珠等）的无损精密检测。实测结果表明该仪器的纵向分辨率可达０．１ｎｍ，横向分辨率小于２ｕｍ。
关 键 词：双焦透镜 干涉仪 球面微观轮廓仪
分 类 号：TH744.3]
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