期刊文章详细信息
在矩形样品中Rymaszewski公式的适用条件的分析 ( EI收录)
A STUDY OF THE VALID CONDITIONS FOR APPLYING RYMASZEWSKI FORMULAS TO RECTANGULAR SAMPLES
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北工业大学电子工程系,天津300130 [2]云南师范大学物理系,昆明650092
基 金：国家自然科学基金资助的课题.
年 份：1995
卷 号：44
期 号：12
起止页码：1869-1878
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要：用有限元法计算了用Rymaszewski公式测量矩形样品薄层电阻时的理论误差与探针距及其游移度、探针离开边界距离的关系;找出了实际测量时理论误差小于3%可放置直线四探针的中央区宽度,并给予实验验证.同时对利用无限系列镜像理论证明得出小矩形样品的薄层电阻测量不受样品边界和探针游移的影响的新方案提出了异议.
关 键 词：半导体 电阻 薄层电阻 矩形 探针测试
分 类 号：TN307]
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