文献类型：期刊文章

作　　者：杨巧勤[1] 赵立华[1] 李绍禄[1] 杜海清[1]

机构地区：[1]湖南大学材料测试研究中心

出　　处：《无机材料学报》

年　　份：1995

卷　　号：10

期　　号：4

起止页码：491-494

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI(收录号：1998014017544)、JST、SCIE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：使用热丝ＣＶＤ法研究了金刚石涂层生长速度、晶粒大小和结合强度与生长工艺参数的关系．在此研究基础上，选择氮化硅材料作为刀具基底材料，并优化生长工艺参数，使热丝ＣＶＤ法生长金刚石膜的速度提高到２０μｍ／ｈ，膜层平均晶粒度＜１μｍ，划痕临界载荷达到了５０Ｎ．然后进行内应力消除及机械研磨、抛光，这样制成的超精加工刀具用来加工铝合金部件．被加工件的表面不平度＜０．１μｍ，光洁度达到了１２，加工光洁度与寿命达到了单晶金刚石刀具的水平．

关 键 词：金刚石涂层 超精加工 车刀 CVD法

分 类 号：TG712]