期刊文章详细信息
PCVD制备工业硬膜研究
STUDY OF INDUSTRIAL HARD COATINGS PREPARED BY PCVD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]青岛化工学院等离子体表面技术研究所
年 份：1995
期 号：4
起止页码：30-37
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：用等离子体化学气相沉积（ＰＣＶＤ）技术制备了ＴｉＮ，ＴｉＣ，Ｔｉ（ＣＮ）和（ＴｉＳｉ）Ｎ膜及其组合的多层膜。ＰＣＶＤ具有很好的覆盖性，ＰＣＶＤ－ＴｉＮ具有很好的耐磨耐蚀性，膜与基体结合良好，因而用ＰＣＶＤ法在高速钢刀具，模具及轴承上沉积ＴｉＮ可大大提高其使用寿命。ＰＣＶＤ－ＴｉＣ和Ｔｉ（ＣＮ）膜无明显柱状晶，其显微硬度高于ＴｉＮ，亦可用于高速钢刀具及模具上提高其使用寿命。ＰＣＶＤ（ＴｉＳｉ）Ｎ的晶粒细化，氯含量和显微硬度随Ｓｉ含量而变化，（ＴｉＳｉ）Ｎ具有很好的抗高温氧化性。多层膜可调节膜层结构，减少残余应力，提高膜的机械性能。
关 键 词：氮化钛 碳化钛 薄膜 PCVD
分 类 号：O484.1]
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