期刊文章详细信息
集成电路失效分析新技术
Integrated circuit failure analysis technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]信息产业部电子第五研究所 [2]电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广东广州510610
年 份：2005
卷 号：23
期 号：4
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向,包括:无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术,为进一步开展这方面的工作提供参考。
关 键 词：集成电路 失效分析 无损分析
分 类 号：TN406]
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