文献类型：期刊文章

作　　者：成晓玲[1] 胡社军[2] 匡同春[3] 曾鹏[4] 谢光荣[4] 汝强[4]

机构地区：[1]广东工业大学分析测试中心 [2]华南师范大学物理与电信工程学院,广东广州510631 [3]华南理工大学分析测试中心,广东广州510640 [4]广东工业大学材料与能源学院,广东广州510090

出　　处：《表面技术》

基　　金：广东省教育厅自然科学基金资助项目(200045)

年　　份：2005

卷　　号：34

期　　号：4

起止页码：1-5

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：根据近年来国内外TiO2功能薄膜的研究现状,对化学气相沉积法、水解-沉淀法、液相沉积法、溶胶-凝胶法、溅射法、离子束辅助沉积法等化学和物理制备方法的研究进展进行了综述,并对其优缺点进行了比较和评述。

关 键 词：TIO2薄膜 制备  研究进展  

分 类 号：O612.4] TB383[化学类]