文献类型：期刊文章

作　　者：陈军宁[1] 于峰崎[2] 王阳[1] 柯导明[1]

机构地区：[1]安徽大学电子系,合肥230039 [2]苏州中科集成电路设计中心,苏州215021

出　　处：《Journal of Semiconductors》

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2002AA404010)~~

年　　份：2005

卷　　号：26

期　　号：7

起止页码：1374-1378

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：对一种与CMOS工艺兼容的电容型湿度传感器进行了理论推导,物理建模和模拟仿真.该湿度传感器是采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质.通过分析感湿介质的介电常数吸附水分后的变化,考虑其电场分布,对电容型湿度传感器的理论模型进行了研究和模拟.利用Matlab软件对理论模型进行仿真,结果表明所建模型比通常采用的Laconte模型更符合实验结果.

关 键 词：湿度传感器 电容  介电常数 聚酰亚胺 灵敏度

分 类 号：TP212]