期刊文章详细信息
ZnO薄膜的制备和研究进展
Recent advances and synthesis of ZnO thin films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]郑州师范高等专科学校物理系,河南郑州450044
基 金：河南省自然科学基金资助项目(0424220173)
年 份：2005
卷 号：18
期 号：3
起止页码：344-345
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAB、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、IC、JST、RCCSE、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、核心刊
摘 要：ZnO作为一种新型的宽禁带半导体材料,具有很好的化学稳定性和热稳定性,抗辐射损伤能力强,在光电器件、压电器件、表面声波器件等诸多领域有着很好的应用潜力.本文介绍了ZnO薄膜的基本性质以及喷雾热分解、脉冲激光沉积、金属有机物化学气相沉积等制备ZnO薄膜的技术和方法,并着重介绍了在ZnO紫外受激发射和p型掺杂等方面的研究进展.
关 键 词：ZNO薄膜 紫外受激发射 P型掺杂
分 类 号：TN451] O484.4]
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