期刊文章详细信息
光学薄膜宽带实时监测方法的探讨
Investigation for Monitoring Method of Optical Multilayer Filters
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华东工业大学仪器仪表学院,上海200093
年 份：1995
卷 号：17
期 号：3
起止页码：33-37
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：列举了多种实例，对光学薄膜宽带监测方法作了认真探讨。在非λ/4多层薄膜的制备中，有效的监测方法是获得制各成功的关键。根据宽带光学薄膜的特殊要求，选择合适的监测方法，满足膜层监测的实际需求，是评价实施方法的一个重要依据。
关 键 词：光学薄膜 监测 薄膜
分 类 号：O484.5]
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