文献类型：期刊文章

作　　者：高宏刚[1] 陈斌[1] 曹健林[1]

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所,应用光学国家重点实验室

出　　处：《光学精密工程》

年　　份：1995

卷　　号：3

期　　号：4

起止页码：7-14

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：现代科学技术的发展，在许多领域中提出了加工超光滑表面的要求。这种表面不仅要具备较高的面形精度和极低的表面粗糙度，同时要具有完整的表面晶格排布，消除加工损伤层。近年来国际出现了不少成功的超光滑表面加工技术，可以实现表面粗糙度小于１ｎｍ，面形精度优于３０ｎｍ。本文介绍了超光滑表面的主要应用领域；从去除机理的角度讨论了ＢＦＰ抛光、Ｔｅｆｌｏｎ抛光、离子束加工、ＰＡＣＥ加工、浮法抛光、延展性磨削等六种有代表性的超光滑表面加工技术；并对国内情况作了简单分析。

关 键 词：超光滑表面 超精密加工 抛光

分 类 号：TN305.2] TG580.692]