期刊文章详细信息
高精度CCD尺寸自动检测系统的光学系统设计
The Design of Optical System for High Precision CCD Automatic Size Control
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津大学精密仪器系
年 份：1995
卷 号：21
期 号：5
起止页码：4-6
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文介绍了测量精度为±０．００３ｍｍ的ＣＣＤ尺寸自动检测系统的工作原理。详细地讨论了光学系统的设计和远心物镜的结构。并且进行了光学计算和像差校正。给出了像差曲线和实测结果。该仪器具有自动检测精度高、快速和性能可靠等优点。已在工业生产中得到了很好地应用。
关 键 词：尺寸测量 线阵CCD 远心物镜 光学系统
分 类 号：TP274.5] TH74]
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