期刊文章详细信息
制备SnO_2薄膜时原料中水对其成膜和光电性质的影响 ( EI收录)
The Optical and Electrical Properties for SnO_2 Film Effected by H_2O as Starting Material in Preparing SnO_2 Thin Film
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]武汉工业大学新材料研究所
年 份:1995
卷 号:26
期 号:6
起止页码:502-504
语 种:中文
收录情况:CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要:用无水SnCl_4和SnCl_4·5H_2O为原料,用热喷涂法制备SnO_2薄膜,在基片温度为530℃时,对所制得SnO_2薄膜进行X-射线、SEM分析,并对其光电性质进行测定。总结出含H_2O的SnCl_4制得的SnO_2薄膜生长速度快,电阻率低。
关 键 词:薄膜 透明导电膜 四氯化锡 二氧化锡
分 类 号:O484] TN304.21[物理学类]
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