期刊文章详细信息
TiO_2薄膜的Sol－gel制备及结构分析 ( EI收录)
Preparation and Structure Analyses of TiO_2 Thin Films by Sol-gel Process
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]湖北大学压电陶瓷技术研究所
基 金：湖北大学青年科研基金
年 份：1995
卷 号：26
期 号：6
起止页码：528-531
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料，采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了ＴｉＯ＿２薄膜，薄膜表面均匀、致密，无裂纹。研究表明，随热处理温度的提高，薄膜经锐钛矿转变为金红石结构，其转变温度因衬底不同而异，但比凝度粉末的转变温度高。金红石结构的ＴｉＯ＿２薄膜具有一定的择优取向性，其品位大小为０．０５～０．１５μｍ．
关 键 词：薄膜 Sol-gel工艺 制备结构 二氧化钛
分 类 号：TN304.21] TN304.055
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
