期刊文章详细信息
铁电薄膜与集成铁电学
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东大学晶体研究所
年 份：1995
卷 号：5
期 号：1
起止页码：53-58
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：评述了铁电薄膜制备技术的发展现状及存在的问题，简介了铁电存储器、铁电薄膜红外探测器、光波导、微驱动器等集成铁电学器件的研制及对材料、工艺的要求，提出了集成铁电学发展中有待研究的一些问题。
关 键 词：铁电薄膜 集成铁电学
分 类 号：TM277[材料类] TN40]
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