期刊文章详细信息
TaN膜的结构、成分及性能
Structure,composition and properties of TaN thin films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部
基 金：国家自然科学基金
年 份：1995
卷 号：35
期 号：4
起止页码：482-486
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1992、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、MR、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要：研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显微硬度在单一相结构时最大，而以双相共存时的显微硬度较低。
关 键 词：沉积 结构分析 性能 氮化钽 薄膜
分 类 号：O174.442[数学类]
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