期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]东北大学表面技术研究所
年 份:1995
卷 号:24
期 号:1
起止页码:1-5
语 种:中文
收录情况:CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要:介绍了表面技术领域中应用等离子技术的诸种现代工艺及其工作原 理;讨论了等离子体在这些工艺过程中的行为作用,由其引发形成的工艺与产品的特点,以及这些工艺的应用发展前景。
关 键 词:表面技术 等离子体 工艺 表面处理
分 类 号:TG174.442]
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